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Luftqualität hoher qualitativer Einflußfaktor

Erträge verbessern und Risiken minimieren

Der Eintrag von Feinstaub und AMC muss sorgfältig kontrolliert werden, um eine Halbleiterfertigung mit hohem Ertrag und niedrigem Ausschuss zu ermöglichen. 



Zu den AMC-Quellen gehören: 

• Chemisches Ausgasen
• Abgase von anderen Industrieanlagen und Prozessen
• Abgase von Kraftfahrzeugen
• Saisonale Faktoren
• 
  

Fehler durch AMC werden klassifiziert als:

• Mechanische Einflüsse, einschl. Behinderung des Luftstroms zur Kühlung, Beeinträchtigungen von beweglichen oder optischen Teilen sowie die Verformung von Oberflächen
• Chemische Einflüsse, einschl. Korrosion von elektrischen Komponenten, die durch Staub aus schwefel- und chlorhaltigen Salzen ausgelöst werden
• Elektrische Einflüsse, einschl. Widerstandsänderungen und Kurzschluss elektrischer Schaltkreise.